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스마트 팩토리 제어 및
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스마트 팩토리 제어 및
모니터링 시스템
FMCS( Facility Monitoring & Control System ) 개발
개발 목적
발주 설비 운영에 필수적인 다양한 설비 상태를 실시간 모니터링하고 유사시 경보 및 제어
모니터링 UTILITY 종류
PROCESS GAS 공급설비
UTILITY 공급설비
환경설비
CLEAN ROOM 설비
Gas Cabinet
VMB
LN2 Plant
N2 Purifier
CDA
PCW
PV
UPW
POU Scrubber
Recycle System
House Scrubber
General Exhaust
Drain Tank
NaOH Tank
가스감지기
AHU
FFU
Clean Room 환경설비
Gas Cabinet
VMB
LN2 Plant
N2 Purifier
CDA
PCW
PV
UPW
POU Scrubber
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House Scrubber
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AHU
FFU
Clean Room
환경설비
FMCS Monitoring System
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TEL : 031-8077-9390
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FAX : 0504-425-3467
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